产品规格

规格1,2,5

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
波长 355 nm 355 nm 355 nm 355 nm 532 nm 532 nm
输出功率 200 kHz、10 ns 时 >80 W 200 kHz、10 ns 时 >60 W
300 kHz、10 ns 时 >60 W		 3 MHz、2 ns 时 >38 W 200 kHz、10 ns 时 >45 W
250 kHz、10 ns 时 >45 W
300 kHz、10 ns 时 >41 W		 200 kHz、 10 ns 时 >95 W 200 kHz、 10 ns 时 >75 W
最大脉冲能量或突发能量 >400 µJ (脉冲) >300 µJ (脉冲) >12 µJ (脉冲e) >225 µJ (脉冲) >475 µJ >375 µJ
重复频率范围 0–3.5 MHz 0–3.5 MHz 0–3.5 MHz 0–1.7 MHz 0–3.5 MHz 0–1.7 MHz
已优化的 TimeShift™ 设置
（光束优化的标称设置)		 200 kHz, 10 ns 300 kHz, 10 ns 3 MHz, 2 ns 300 kHz, 10 ns 200 kHz, 10 ns
脉冲对脉冲能量稳定性 <5%, 1s
功率稳定性（预热后） <2%, 1σ, 8 小时以上
光束指向稳定性 <±25 µrad/°C
功率稳定性（峰到峰） 8 小时以上 ±3%
偏振 垂直方向 100:1 100:1，水平
空间模式 TEM00 (M2 <1.3)
发散角，全圆角 <0.3 mrad <0.45 mrad
椭圆度 <1.10
脉冲宽度，FWHM （TimeShift 可编程) 3 <2 ns 至 >100 ns <5 ns 至 >100 ns <2 ns 至 >100 ns <5 ns 至 >100 ns
光束直径 (D4s) 3.5 ±0.35 mm
孔径公差 ±0.5 mm
±5 mrad

工作条件

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
预热时间，典型值 电源开启、二极管关闭时 <40 分钟；
从断电、二极管关闭时起 <60 分钟
温度范围 15–35°C
海拔 0–2000 m
湿度 10-80% 无结露

储存条件

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
温度范围 0–50°C
海拔 0–10,000 m
湿度 10-80% 无结露

电气和冷却装置要求

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
热负载（激光头处) <1900 W <1500 W
水温（激光器入口） 20°C ±1°C
水温稳定性 ±0.5°C
水流量（激光头处） ≥9.5 l/分钟
电源输入 190-240 VAC，最大 2500 W，50/60 Hz，单相
热负载（电源处） <500 W <400 W
功耗 <2400 W <1900 W

物理特性

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
激光器尺寸（长 x 宽 x 高4 39.4 x 14.7 x 9.3 英寸 (1000 x 373 x 235 mm)
激光头重量 200 磅 (90 kg)
电源尺寸（长 x 宽 x 高） 21.1 x 19.0 x 6.9 英寸 (536 x 483 x 176 mm)
电源重量 35 磅 (16 kg)
电源重量 5 m

其他

Quasar UV80 Quasar UV60 Quasar
UV60-Turbo		 Quasar UV45 Quasar GR95 Quasar GR75
符合欧盟指令 2015/863/EU、中国 RoHS2 GB/T 26572---2011
和 SJ/T 11364---2014		 Yes
用户可更换的输出窗口 是
可选安全保护开关 是
数据日志（也包括客户版本） 诊断与设备维护的长短期记录

紫外激光器的脚注:

  1. 产品规格如有变更，恕不另行通知。
  2. Quasar UV80 测试规格为 10 ns 和 200 kHz，设置二极管电流以达到 81 W。Quasar UV60 和 UV45 测试规格为 10 ns 和 300 kHz，设置二极管电流以使 Quasar UV60 达到 62 W，使 UV45 达到 42 W。
  3. Quasar UV80、UV60、UV60-Turbo 和 UV45 标注的尺寸不包含标准可拆卸提升外框架或可选可拆卸提升手柄。
  4. Quasar 为 IV 级高功率激光器，根据定义，其光束存在安全和火灾危险。请采取预防措施，避免接触到直射或反射光束。 漫反射和镜面反射亦可造成严重的皮肤或眼损伤。

绿色激光的脚注：

  1. 产品规格如有变更，恕不另行通知。
  2. 所有绿光波长测试规格均为 10 ns 和 200 kHz，设置二极管电流以使 Quasar GR95 达到 97 W，使 GR75 达到 77 W。
  3. Quasar GR95 和 GR75：标称脉冲宽度为 10 ns。
  4. Quasar GR95 和 GR75 标注的尺寸不包含标准可拆卸提升外框架或可选可拆卸提升手柄。
  5. Quasar 为 IV 级高功率激光器，根据定义，其光束存在安全和火灾危险。请采取预防措施，避免接触到直射或反射光束。 漫反射和镜面反射亦可造成严重的皮肤或眼损伤。

特征

概述

Quasar 系列激光器引领着行业的发展，具有高 UV 平均功率、高能量值和高重复频率，可实现快速微加工。Quasar 采用新颖的 TimeShift 技术，输出了可编程的脉冲串，从而实现优异的加工速度、灵活性和控制功能。

创新技术

Quasar结合了先进的光纤激光器、功率放大器和获得专利的谐波技术，提供行业领先的性能。Quasar独特性在于其设计利用光纤激光器的灵活性和稳健性，来实现 TimeShift 技术。凭借 Spectra-Physics 特有的功率放大器，Quasar 在高输出功率水平下提供优异的灵活性。凭借 Spectra-Physics 专利谐波的卓越稳定性，Quasar 继续在 24/7 OEM 最苛刻的应用提供高度协同的功率、灵活性和控制功能。

行业领先的性能

Quasar UV80 可在 200 kHz 10 ns 的参数输出 >80 W 的紫外激光功率和 >400 µJ 的脉冲能量，是 Spectra-Physics 的 Quasar UV45、UV60 和 UV60-Turbo 系列激光器的最新产品。Quasar UV80 可在宽范围的 0-3.5 MHz 重复频率范围工作，脉冲宽度从 <2 ns 到 >100 ns可编辑。 Quasar UV60 可在 300 kHz 10 ns 的参数输出 >60 W 的紫外激光功率。 为高重复频率性能优化的 Quasar UV60-Turbo 可在 3 MHz 2 ns 的参数输出 >38 W 的紫外激光功率。Quasar UV60-Turbo 更适合高速多面扫描系统。 Quasar GR95 输出 >95 W 的绿光激光功率，具有与 Quasar UV60 相似的脉冲宽度和脉冲重复频率范围，是 Spectra-Physics Quasar UV45 激光器系列的扩展型号。

可靠的连续运行

Quasar 根据严格的质量标准进行设计、构造和测试，可在严苛的全天候制造环境下进行可靠的连续操作。 内置 ALPS（主动循环净化）帮助在更长使用寿命内维持该性能。最后，Quasar lasers 的自动数据记录软件在激光器的整个生命周期内监控所有主要激光性能参数，提供强大的服务功能和产品可靠性工具。我们还提供此软件的客户版本。

TimeShift™ 技术

Quasar 是同类激光器中，首个提供 TimeShift 技术的激光器，可在时域上实现脉冲能量的可编程性。 通过控制激光器脉冲的时间和重复频率（脉宽和形状），微加工材料的去除和/或修改将变得更加有效，从而提高了加工速度，提高了加工质量。在较高的重复频率下同时采用 TimeShift 和高紫外功率或高绿光功率意味着 Quasar 可以更快更高质量地加工更多的材料。TimeShift 可实现脉冲宽度改变，以及脉冲编辑和Burst模式工作。对于 Quasar UV80、UV60、UV60-Turbo 和 GR95 型号，可在固定重复频率下得到从 <2 ns 到 >100 ns 的脉冲宽度，或相反地使用从 0 到 3.5 MHz 的不同重复频率维持固定脉冲宽度。每台 Quasar 激光器均配备一组默认 TimeShift脉冲波形。TimeShift GUI 用于创建自定义波形，需额外付费购买。

  • TimeShift 可锁定脉冲宽度 Vs脉冲重复频率 (PRF): 与传统的调 Q 激光器不同，Quasar 的 TimeShift 技术可在多种脉冲重复频率 (PRF) 下维持恒定脉冲宽度。. 恒定脉冲宽度意味着峰值功率更为恒定，以在较高的速度下得到更一致的加工结果。
  • TimeShift 可变脉冲宽度和脉冲整形: 改变给定重复频率的脉冲宽度可用于优化材料加工效果。 通过更改脉冲内（脉冲整形）的能量和强度，可进一步优化材料的加热或冷却。
  • TimeShift 脉冲编辑和 Burst 模式: 通过在给定的脉冲重复频率下编辑脉冲，材料能够气化或等离子化，从而可以更有效地去除材料。通过改变Burst模式脉冲的数量、间隔和相对强度，可精确定制工件中的空间瞬态的热量分布，提高加工速度和/或质量。

兼容的功率传感器

要验证和分析 Quasar 激光器的输出功率，我们推荐使用 Ophir 80(120)A-CM-17 (7Z07103) 或者 F150(200)A-CM-16 (7Z07107) 热功率传感器和 Centauri 激光功率计。 有关此激光测量设备的更多信息，请访问 ophiropt.com 网站。 其他 Ophir 传感器和仪表也可能适用于 Quasar，详细情况取决于具体应用。 Ophir 还与激光系统开发人员合作，实现嵌入式光束诊断，提供了监控系统性能的 OEM 解决方案。

Recommended Optics & Optomechanics

It is critical to choose the right optics and optomechanical components that work best with your Quasar laser. Quasar’s high UV and green output power necessitates optics that have a high damage threshold. MKS Newport offers a wide selection of the highest quality optics and optical components covering the entire spectrum UV, VIS, NIR and IR wavelengths to help you with your most challenging applications.

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